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薄膜基片湿法刻蚀金工艺的研究
研究论文 | 更新时间：2026-10-22
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    • 薄膜基片湿法刻蚀金工艺的研究

    • Study on Wet Etching of Gold on Thin Film Substrates

    • 聂源 ，李少奎 ，王艳艳 ，刘运福 ，李国 ，杨臻
    • 电子技术与软件工程 2026年15卷第3期 页码：84-90

    • DOI： 10.12263/ES.2026.03.012     

      中图分类号：

    • 修回：2026-05-28 ，

      录用：2026-06-11 ，

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