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高精度TaN方阻值一致性关键技术研究
高精度TaN方阻值一致性关键技术研究
Research on Technologies for High-precision TaN Square Resistance Consistency
- 电子技术与软件工程 2026年15卷第2期 页码：119-124
DOI： 10.12263/ES.2026.02.019
修回：2026-04-21 ，
录用：2026-04-21
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